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潔凈管道規(guī)范應(yīng)考慮以下方面：
1.材質(zhì)選擇:應(yīng)使用無(wú)毒、耐腐蝕的材料，如不銹鋼或銅等。塑料材料是不適宜的，因?yàn)樗鼈兛赡茚尫庞卸疚镔|(zhì)并污染所輸送的氣體。
2.管徑與距離:對(duì)于較小的管路（例如直徑為50-8MM），不宜超過3米；對(duì)于較大的管子(例如內(nèi)孔半徑R=4mm)，長(zhǎng)度不應(yīng)大于6m~7m。這是因?yàn)樵介L(zhǎng)的導(dǎo)管可能會(huì)帶來(lái)更多的污染物問題如果必須更長(zhǎng)則需要增大接頭和/或其他保護(hù)措施.在任何情況下,所有引入到房間內(nèi)的氣體都應(yīng)有防護(hù)涂層以減少可能的化學(xué)影響.。
3.壓力控制:壓力應(yīng)該得到良好的控制系統(tǒng)并且應(yīng)當(dāng)保持盡可能低的水平，這有助于防止顆粒泄漏或者不慎操作導(dǎo)致的塵埃進(jìn)入系統(tǒng)以及確保產(chǎn)品能達(dá)到預(yù)設(shè)位置而不發(fā)生堵塞,在清潔室環(huán)境中尤其重要。
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